مسح الرأس يمكن أن ينحرف شعاع الليزر في س و ص الاتجاهات . هذا يخلق مساحة الطائرة ثنائية الأبعاد التي شعاع الليزر يمكن أن تركز في أي مكان . بعدين الطائرة المنطقة هو علامة النطاق .
انحراف شعاع الليزر يتحقق من قبل اثنين من مسح الجلفانومتر المرايا . مسح الرأس اثنين من الثقوب ، واحدة على ضوء المدخلات ، والآخر على ضوء الإخراج . شعاع الليزر يدخل رئيس المسح الضوئي من فتحة الإدخال و تنبعث من فتحة الإخراج بعد انحراف ، كما هو مبين في الشكل 1 . فتحة الإخراج يفتح أو يركب f-Theta مسح العدسة أو يركب نافذة واقية .
ثلاثة محاور بالاهتزاز مرآة رئيس المسح الضوئي يعتمد على تقنية التركيز ثلاثي الأبعاد التي شكلتها س ص بالاهتزاز مرآة و ض العدسة ، و يحل المشاكل التي بعد شعاع الليزر يمر من خلال التركيز مرآة ، لأن الطائرة البؤرية كروية ، سطح الشغل هو على نحو سلس ، التركيز على علامة الطائرة يصبح أكبر ، وسم linewidth مختلفة . من خلال تغيير الموقف من دينامية التركيز مرآة ، عدسة التركيز لا يزال على سطح الشغل ، وبالتالي تحقيق تأثير نفس القطر و أصغر قطرها جميع البقع في وسم مجموعة .